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精密光学镀膜设备
ZZS系列精密光学镀膜设备专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计，各系统和总体结构满足了光学薄膜工艺的要求，适用于增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，对于100层膜的超大型膜系也能做到很好的满足。
配置大坩埚电子枪，多种波形扫描系统，整个蒸发过程中膜料表面平坦，蒸发分布稳定。
加配石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速率和镀膜过程的自动控制。
配置大功率离子源，提高膜层质量好。
总体结构设计合理，更符合工艺要求；局部细节设计富于人性化，方便操作者。
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 精密光学镀膜设备
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